Balayage photoélectrique

La plupart des systèmes de mesure HEIDENHAIN fonctionnent selon le principe de balayage photoélectrique. Ce balayage s'effectue sans contact et donc sans usure. Il détecte des traits de divisions extrêmement fins d'une largeur de quelques microns et génère des signaux de sortie avec des périodes de signal très faibles. Plus la période de division du réseau de traits est fine et plus les effets de la diffraction influent sur le balayage photoélectrique. HEIDENHAIN utilise deux principes de balayage:

le principe de mesure par imagerie pour périodes de divisions de 10 µm à environ 70 µm

le principe de mesure interférentielle pour réseaux de traits extrêmement fins avec périodes de division de 8 µm et même encore plus fines

Autres principes de balayage

Certains systèmes de mesure fonctionnent avec d'autres procédés de balayage. Sur les capteurs ERM, le support de la mesure est constitué d'un réseau de divisions à magnétisation permanente MAGNODUR balayé par des détecteurs magnéto-résistifs.

Les capteurs rotatifs ECI/EQI fonctionnent selon le principe de mesure inductif. Dans ce cas, un signal à haute fréquence est modulé dans son amplitude et sa position de phases par le déplacement des réseaux de divisions.