HEIDENHAIN

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Support de la mesure

Sur les systèmes de mesure HEIDENHAIN à balayage photoélectrique, la mesure est matérialisée par des structures régulières appelées divisions. Pour servir de support à ces divisions, on utilise des substrats en verre ou en acier: Le verre est utilisé le plus souvent sur les systèmes de mesure pour vitesses de rotation jusqu'à 10000 tours/min ou longueurs de mesure jusqu'à 4 m. Pour les vitesses de rotation plus élevées (jusqu' à 20000 tours/min., on a recours à des tambours en acier. Sur les systèmes de mesure de grands diamètres ou avec longueurs de mesure jusqu'à 30 m, le réseau de divisions est déposé sur un ruban en acier.

Les divisions fines sont réalisées au moyen de différents procédés photolithographiques. Elles sont obtenues, par exemple, à partir de:

  couches de chrome extrêmement résistantes déposées sur verre ou sur des tambours gradués recouverts d'une dorure,
  structures réticulaires tridimensionnelles déposées sur des substrats en verre ou en acier,
  traits en chrome semi-transparents déposés sur des substrats en verre ou en acier,
  traits dépolis déposés sur un ruban de mesure recouvert d'une dorure.