HEIDENHAIN

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Principe de mesure par imagerie

Principe de mesure par imagerie

Considérée de manière simplifiée, la mesure par imagerie génère le signal par projection de lumière: Deux réseaux de traits (disque gradué et réticule de balayage) avec périodes de division identiques ou similaires sont déplacés l'un par rapport à l'autre. Le support du réticule de balayage est transparent; le réseau de traits du support de la mesure peut être déposé sur un matériau également transparent ou bien sur un matériau réflecteur. Lorsque la lumière parallèle traverse une structure avec réseau de traits, des champs clairs/obscurs se forment à une distance donnée. A cet endroit, se trouve un réticule opposé et avec la même période de division. Lorsque les deux réseaux de traits se déplacent l'un par rapport à l'autre, la lumière passante est modulée: Si les interstices entre les traits sont en face les uns des autres, la lumière passe; si les traits recouvrent les interstices, on obtient l'ombre. Les photoéléments convertissent ces modulations d'intensité lumineuse en signaux électriques. Sur le réticule de balayage, le réseau de traits doté d'une structure spéciale filtre le courant lumineux de manière à obtenir des signaux de sortie sinusoïdaux. Plus la période de division du réseau de traits est fine et moins l'écart entre le réticule de balayage et le disque gradué fait l'objet d'une tolérance étroite. Sur un système de mesure avec principe de mesure par imagerie, le montage est réalisable dans les tolérances si la période de division est d'au moins 10 µm.

C'est selon ce principe de mesure par imagerie que fonctionnent, par exemple, les capteurs rotatifs ECN, EQN, ERN, ROC, ROQ, ROD et ERO, les systèmes de mesure angulaire RCN, RON, ROD et ERA ainsi que les systèmes de mesure linéaire LC, LS, LB et LIDA.