Les procédés de fabrication photolithographiques permettent d‘obtenir des périodes de divisions de:

40 μm en AURODUR

20 µm en METALLUR

10 μm en DIADUR

4 μm et même inférieures pour les structures réticulaires tridimensionnelles (Réseau de phases) und bei SUPRADUR.

Ces procédés permettent, d'une part, d'obtenir des périodes de divisions extrêmement fines et, de l'autre, une très grande netteté des bords traits ainsi qu'une parfaite homogénéité de la gravure. Tout comme le balayage photoélectrique, ceci est d'ailleurs déterminant pour obtenir une qualité élevée des signaux de sortie. De plus, les divisions de HEIDENHAIN sont résistantes aux effets mécaniques et chimiques. Elles sont également insensibles aux chocs et aux vibrations et leur comportement thermique est défini.