Das interferentielle Messprinzip nutzt die Beugung und die Interferenz des Lichts an fein geteilten Gittern, um Signale zu erzeugen, aus denen sich die Bewegung ermitteln lässt. Als Maßverkörperung dient ein Stufengitter; auf einer ebenen, reflektierenden Oberfläche sind reflektierende Striche mit 0,2 μm Höhe aufgebracht. Davor befindet sich als Abtastplatte ein lichtdurchlässiges Phasengitter mit der gleichen Teilungsperiode wie beim Maßstab.

Interferentielle Messgeräte arbeiten mit Teilungsperioden von z.B. 8 μm, 4 μm oder feiner. Ihre Abtastsignale sind weitgehend frei von Oberwellen und können hoch interpoliert werden. Sie eignen sich daher besonders für hohe Auflösung und hohe Genauigkeit.

Messgeräte, die nach dem interferentiellem Messprinzip arbeiten, sind z. B. die Längenmessgeräte LF, LIP, LIF und PP sowie die Winkelmessgeräte RPN oder ERP.