Photoelektrische Abtastung

Die meisten HEIDENHAIN-Messgeräte arbeiten nach dem Prinzip der photoelektrischen Abtastung. Die photoelektrische Abtastung erfolgt berührungslos und damit verschleißfrei. Sie detektiert selbst feinste Teilungsstriche von wenigen Mikrometern Breite und erzeugt Ausgangssignale mit sehr kleinen Signalperioden. Je feiner die Teilungsperiode einer Maßverkörperung, umso mehr beeinflussen Beugungserscheinungen die photoelektrische Abtastung. HEIDENHAIN verwendet zwei Abtastprinzipien:

das abbildende Messprinzip bei Teilungsperioden von 10 μm bis ca. 70 μm

das interferentielle Messprinzip für sehr feine Strichgitter mit Teilungsperioden von 8 μm und feiner

Andere Abtastprinzipien

Einige Messgeräte arbeiten nach anderen Abtastverfahren. Die Messgeräte ERM haben als Maßverkörperung eine permanent magnetisierte MAGNODUR-Teilung, die über magneto-resistive Sensoren abgetastet wird.

Die Drehgeber ECI/EQI arbeiten mit dem induktiven Messprinzip. Hier wird ein hochfrequentes Signal durch bewegte Teilungsstrukturen in seiner Amplitude und Phasenlage moduliert.