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Die Genauigkeit der Längenmessung wird im wesentlichen bestimmt durch:
 | | die Güte der Strichgitter-Teilung |
| | die Güte der Abtastung |
| | die Güte der Signalverarbeitungs-Elektronik |
| | die Führungsabweichungen der Abtasteinheit zum Maßstab |
Zu unterscheiden ist zwischen den Positionsabweichungen über vergleichsweise große Verfahrwege - z.B. über die gesamte Messlänge - und den Positionsabweichungen innerhalb einer Signalperiode.
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