Lorsqu'elle rencontre le réticule de balayage, l'onde lumineuse plane est divisée par diffraction en trois ondes partielles d'ordre 1, 0 et -1 ayant à peu près la même intensité lumineuse. Celles-ci sont diffractées sur la règle de mesure avec réseau de phases de manière à ce que la majeure partie de l'intensité lumineuse se situe dans l'ordre de diffraction réfléchi 1 et -1. Ces ondes partielles se rejoignent sur le réseau de phases du réticule de balayage où elles sont à nouveau diffractées et en interférence. Trois trains d'ondes sont ainsi générés; ceux-ci quittent le réticule de balayage en suivant différents angles. Les photoéléments convertissent ces intensités lumineuses en signaux électriques.