Die von HEIDENHAIN entwickelten fotolithografischen Herstellungsverfahren ermöglichen Teilungsperioden bis zu:

40 μm bei AURODUR

20 µm bei METALLUR

10 μm bei DIADUR

4 μm und feiner bei dreidimensionalen Gitter-Strukturen (Phasengitter) und bei SUPRADUR.

Diese Verfahren ermöglichen zum einen feine Teilungsperioden und zeichnen sich zum anderen durch hohe Kantenschärfe und Homogenität der Teilung aus. Zusammen mit dem photoelektrischen Abtastverfahren ist dies maßgebend für die hohe Güte der Ausgangssignale. Teilungen von HEIDENHAIN sind widerstandsfähig gegen mechanische und chemische Einwirkungen und unempfindlich gegen Vibrations- und Schockbelastungen und haben ein definiertes thermisches Verhalten.