HEIDENHAIN-Messgeräte mit photoelektrischer Abtastung benutzen Maßverkörperungen aus regelmäßigen Strukturen – sogenannte Teilungen. Als Trägermaterial für diese Teilungen dienen Glas- oder Stahlsubstrate: Glas findet meist bei Geräten für Drehzahlen bis 10000 min^–1 bzw. Messlängen bis 4 m Verwendung, bei höheren Drehzahlen bis 20000 min^–1 kommen Stahltrommeln zum Einsatz. Bei Messgeräten für große Durchmesser bzw. Messlängen bis 30 m dient ein Stahlband als Teilungsträger.

Die feinen Teilungen werden durch unterschiedliche fotolithografische Verfahren hergestellt. Als Teilungen kommen z. B. zum Einsatz:

äußerst widerstandsfähige Chromstriche auf Glas oder vergoldeten Stahltrommeln,

dreidimensionale Gitter-Strukturen auf Glas- oder Stahlsubstraten,

teildurchlässige Chromstriche auf vergoldeten Glas- oder Stahlsubstraten,

mattgeätzte Striche auf einem vergoldeten Stahlband.