Error description 237-18023

Error message

18023 CMP 檔: UCCS 補償內的定義功能 (FUNC) 失效。

Cause of error

CMP 檔: UCCS 補償內已使用失效的函數 (FUNC)。
以下為可能的函數:
0:無動作(-> 停用)
1:多項式
2:反多項式
3:IIR 濾波器,第 2 階
4:正弦函數
5:雙曲線正弦函數
6:區段定義函數
7:調適型濾波器

Error correction

- 停用工具機參數內的 CMP 檔案
- 再次建立 CMP 檔案。
- 請通知維修服務商。