Error description 231-9210

Error message

9210 參數 vCtrlDiffGain %1 過大

Cause of error

- 差異因素過大 (最大值 0.5 [As^2/轉])

Error correction

- 在工具機參數 "vCtrlDiffGain" 內輸入低於 0.5 之值
- 請通知維修服務商